Arta fotolitografiei: crearea de modele complexe pentru dispozitive microelectronice
Fotolitografia este un proces utilizat în microfabricarea și fabricarea semiconductorilor pentru a crea modele sau imagini la scară mică pe o suprafață folosind lumină. Un fotolitograf este cineva care lucrează cu această tehnologie, creând modele sau imagini folosind echipamente și tehnici specializate.
În contextul microfabricației și al producției de semiconductori, fotolitografia este utilizată pentru a crea modelele și structurile complicate care sunt necesare pentru circuitele integrate și alte dispozitive microelectronice. . Procesul implică de obicei următorii pași:
1. Design: Primul pas în fotolitografie este proiectarea modelului sau a imaginii care trebuie creată pe suprafață. Acest lucru se realizează folosind software și tehnici specializate.
2. Crearea măștii: Odată ce designul este finalizat, este creată o mască care conține modelul sau imaginea. Masca este de obicei realizată dintr-un material fotosensibil care poate fi expus la lumină.
3. Pregătirea napolitanelor: napolitana, care este suprafața pe care va fi creat modelul, este pregătită prin curățarea acesteia și aplicarea unui strat de material fotorezistent.
4. Expunere: Masca este plasată peste napolitană și expusă la lumină, care transferă modelul pe napolitană.
5. Dezvoltare: După expunere, napolitana este dezvoltată folosind o soluție chimică care îndepărtează materialul fotorezistent care nu este expus la lumină. Aceasta lasă în urmă modelul sau imaginea creată de mască.
6. Gravare: napolitana este apoi supusă unui proces de gravare care îndepărtează materialul care nu este protejat de stratul de fotorezist, creând modelul sau structura dorită. și structurile necesare pentru ca aceste dispozitive să funcționeze corect. Ei folosesc echipamente și tehnici specializate pentru a crea măștile și a expune napolitanele și trebuie să aibă o înțelegere profundă a tehnologiei și a materialelor utilizate.



