Tìm hiểu về Gettering trong sản xuất chất bán dẫn

Gettering là một quá trình được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn để hình thành và tách các bóng bán dẫn riêng lẻ hoặc các thành phần khác trên một tấm bán dẫn silicon. Thuật ngữ "gettering" xuất phát từ ý tưởng "loại bỏ" các tạp chất có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị.

Trong quá trình sản xuất, wafer phải được ủ ở nhiệt độ cao để loại bỏ mọi tạp chất có thể có trong quá trình sản xuất. các bước trước đó. Quá trình ủ này có thể làm cho các lớp silicon dioxide trên bề mặt của wafer bị phá vỡ và giải phóng mọi tạp chất bị mắc kẹt, sau đó có thể được hấp thụ bởi một lớp gettering làm bằng vật liệu như silicon hoặc titan.

Lớp gettering hoạt động như một bồn rửa đối với những tạp chất này, cho phép loại bỏ chúng khỏi thiết bị và cải thiện độ tinh khiết cũng như hiệu suất tổng thể của thiết bị. Quá trình thu thập thường được thực hiện sau khi sản xuất bóng bán dẫn hoặc các bộ phận khác nhưng trước khi chúng được đóng gói và vận chuyển để sử dụng trong các thiết bị điện tử.