Понимание геттеринга в производстве полупроводников

Геттерирование — это процесс, используемый в производстве полупроводников для формирования и разделения отдельных транзисторов или других компонентов на кремниевой пластине. Термин «геттерирование» происходит от идеи «избавления» от примесей, которые могут повлиять на работу устройства.

В процессе производства пластина подвергается высокотемпературному отжигу, чтобы удалить любые примеси, которые могли быть введены во время предыдущие шаги. Этот процесс отжига может привести к разрушению слоев диоксида кремния на поверхности пластины и высвобождению любых захваченных примесей, которые затем могут быть поглощены геттерным слоем, изготовленным из такого материала, как кремний или титан. для этих примесей, что позволяет удалить их из устройства и улучшить его общую чистоту и производительность. Процесс геттерирования обычно выполняется после изготовления транзисторов или других компонентов, но до их упаковки и отправки для использования в электронных устройствах.